产品介绍：

                           作用：
                                ①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
                               ②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果;
                               ③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;
                               ④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;